人民日?qǐng)?bào)北京1月19日電 （記者谷業(yè)凱）記者從中核集團(tuán)獲悉：近日，由中國(guó)原子能科學(xué)研究院自主研制的我國(guó)首臺(tái)串列型高能氫離子注入機(jī)成功出束，核心指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。這標(biāo)志著我國(guó)已全面掌握串列型高能氫離子注入機(jī)的全鏈路研發(fā)技術(shù)，攻克了功率半導(dǎo)體制造鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)，為推動(dòng)高端制造裝備自主可控、保障產(chǎn)業(yè)鏈安全奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
離子注入機(jī)是半導(dǎo)體制造關(guān)鍵設(shè)備，尤其是高能氫離子注入機(jī)研發(fā)難度大、技術(shù)壁壘高，我國(guó)長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口。原子能院依托在核物理加速器領(lǐng)域數(shù)十年的深厚積累，以串列加速器技術(shù)作為主要手段，破解一系列難題，完全掌握了串列型高能氫離子注入機(jī)從底層原理到整機(jī)集成的正向設(shè)計(jì)能力，打破了國(guó)外企業(yè)在該領(lǐng)域的技術(shù)封鎖和長(zhǎng)期壟斷。此次高能氫離子注入機(jī)的成功研制，是核技術(shù)與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)深度融合的重要成果，將有力提升我國(guó)在功率半導(dǎo)體等關(guān)鍵領(lǐng)域的自主保障能力。
《 人民日?qǐng)?bào) 》（ 2026年01月20日 11 版）
（責(zé)任編輯：蔡文斌）
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